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        半導體AOI視覺檢測設備

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        AOI視覺檢測設備

        查看:3120

        時間:2015-12-14

        設備型號:ZX900

        適用芯片:CIS、WLCSP、TSV...


          ZX900 AOI視覺檢測設備


        一款多角度自動AOI系統檢測設備。適用于:半導體先進封裝工藝的產品視覺檢測設備。

        ? 檢測能力:殘膠、RDL/斷路、Bump變形受損;PI變色、各類金屬殘留、滲鍍、來料異常、晶圓

          表面劃傷外來物識別等。

        表面檢測圖形晶圓表面檢測(AOI) ;檢測亞微米量級的二維圖形缺陷。

        ? 支持晶圓尺寸:兼容200mm/300mm(支持±2.5mm翹曲片)

        ? 分辨率0.45um – 9um。




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